MADE

fablitho

高度なリソグラフィプロセスモデリングと麻雀物語4 パチンコツール

リソグラフィプロセスモデリングプラットフォーム フォトレジ麻雀物語4 パチンコモデル 弱点のグラフィック最適化

Fablithoは、国内の主要なリソグラフィプロセスモデリングおよびシミュレーションツールです。さまざまな投影デバイスのレンズ歪みを含む光学モデルを確立し、高度の自由モデリング方法を通じてさまざまな条件下でフォトレジ麻雀物語4 パチンコの性能をシミュレートできます。

  • 高度なプロセスノードに適用できます。

  • 半導体チップ製造、フラットパネルディスプレイ製造、高度なチップパッケージなどのアプリケーションフィールドをカバーします。

  • いくつかの高度な国内のファブで正常に検証されています。

  • 厳密な麻雀物語4 パチンコ方法を介して、さまざまなプロセスパラメーターでプロセスウィンドウの値を取得し、ウェーハへの露出と手動測定の需要を効果的に削減し、プロセス開発効率を大幅に改善します。

  • 他のプロセス麻雀物語4 パチンコツールとの組み合わせをサポートし、マスクバージョンの主要なグラフィックの麻雀物語4 パチンコのプロセス最適化に適用され、実際の生産におけるグラフィック障害のリスクを減らします。

製品のシングルページをダウンロード

製品のハイライト

  • 業界標準光学モデル

    マスクバージョンの3次元効果をサポートします
    フリーフォームの光源

  • リソグラフィ装備モデル

    サポート投影倍率、入射角
    レンズ歪み、ジョーンズマトリックス

  • 業界標準の経験的モデル

    ディルモデル、露出後のベーキング拡散、化学反応
    モデル、暴露後開発モデル、フォトレジ麻雀物語4 パチンコの収縮効果

  • 複数の露出プロセス

    単一の暴露プロセスと二次暴露プロセス(LLE)をサポートします
    および多焦点深度イメージングテクノロジー(MFI)

  • フォトレジ麻雀物語4 パチンコモデルのキャリブレーション関数

    組み込みマルチパラメーター最適化エンジンは、ウェーハデータに基づいています
    および光学パラメーターフィッティングフォトレジ麻雀物語4 パチンコモデル

  • 柔軟なデータ視覚化インターフェイス

    麻雀物語4 パチンコ結果をサポート
    および外部データの視覚化

  • 豊富な二次開発インターフェイス

    内蔵CおよびPython開発インターフェイス、
    CVSおよびJSONデータ相互作用形式

  • マルチフォーマット出力

    サポート出力TXT、GDSII、STL
    ファイル形式

製品アプリケーション

  • リソグラフィプロセスのプロセスウィンドウ
    麻雀物語4 パチンコとパラメーターの最適化

  • キーグラフィックス
    麻雀物語4 パチンコと最適化

  • OPCモデルパラメーター
    開発アシスタント

  • フォトレジ麻雀物語4 パチンコとリソグラフィ装備
    パラメーターの評価と最適化

お問い合わせ トップ

ログイン